코터 개발기 적외선 히터

리소그래피 공정에서의 베이크 단계 리소그래피 공정에서 베이크 단계는 단순한 휴식이 아니라, 엄격한 공정 경계입니다. 소프트 베이크와 하드 베이크의 온도가 조금이라도 변동하면 포토레지스트 프로파일이 기울어지고, 중요한 치수 제어가 흐트러지며, 수율이 급감할 수 있습니다...