기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열하세요. 일반적인 적외선 램프의 문제점은 열이 사방으로 퍼진다는 것입니다. 반도체 경화실에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 적절한 반사체가 없으면 에너지의 대부분이 장비의 내벽에 부딪히게 됩니다. 그 결과, 장비의 외부가 너무 뜨...

시간을 멈추는 방법: 왜 반도체 제조 공정에서 IR 기술이 핫에어 기술보다 우수한가 핫에어 순환 방식에 대해 이야기해 보겠습니다. 이는 구식의 방법입니다. 공기를 가열한 다음, 그 공기가 부품을 따뜻하게 해주기를 기다리는 것이죠. 반도체 제조 공정에서는 이 방식은 큰...