공장 건조 공정에 대한 에너지 감사
반도체 제조 공장에서 탄소 배출을 줄이는 방법: 왜 적외선 가열이 효과적인가
반도체 제조 공장에서 탄소 중립을 달성하려면, 건조 과정에 주목해야 합니다. 건조 과정은 많은 에너지를 소비하는 과정입니다. 기존의 대류식 오븐들은 뜨거운 공기를 사방으로 보내서, 단지 몇...
산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터
공정 기술 문서 Fab 현장에서 여러분은 잘 알고 계실 것입니다: 웨이퍼 건조 또는 포토레지스트 베이크 중 0.1°C의 온도 변동은 조용히 라인 수율을 감소시킬 수 있습니다. 히터는 단순한 배경의 박스가 아니라, 리소그래피에서 치수 제어를 지배하는 열 예산을 설정합니...