반도체 청정실용 트롤리 히터

왜 클린룸용 트롤리 히터에서 강제 공기 순환 방식을 적외선 방식으로 바꾸는가? 반도체 제조 공정에 종사해본 사람이라면 “트롤리를 기다리는 시간”이 얼마나 짜증나는지 잘 알 것입니다. 이는 전형적인 병목 현상입니다. 구식 설비들은 대부분 뜨거운 공기를 이용해 가열합니다...