손을 다치지 않는 방법: 장비를 더 효과적으로 가열하는 방법 클린룸 장비를 업그레이드하는 과정에서 이런 문제를 겪어본 적이 있을 것입니다. 기계의 내부 벽면이 너무 뜨거워서 위험한 상태가 되는 것입니다. 정말 성가신 문제죠. 비싼 장비를 사용하고 있지만, 기계에서 나...

제조 현장에서 열 성능은 ‘있으면 좋은 것’이 아니다. 공정이 규격 내에 머무를지, 아니면 편차가 발생해 웨이퍼가 폐기될지를 가르는 경계선이다. 베이크 램프가 어두워지거나, 핫존이 이동하거나, 히터가 고장 나면 유예 기간은 없다. 리소그래피 오버레이가 이탈하고, 포토...