진공 챔버용 적외선 히터

팹 플로어에서는 알다시피, 사소한 온도 변화도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 포토레지스트를 가열할 때 온도가 0.2°C만큼만 변해도 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 진공 챔버 내의 적외선 히터가 제대로 작동하지 않으면, 단순히 생산 효율뿐만 아니라 생산 일정...