산업용 웨이퍼 건조 시스템 히터
공정 기술 문서 Fab 현장에서 여러분은 잘 알고 계실 것입니다: 웨이퍼 건조 또는 포토레지스트 베이크 중 0.1°C의 온도 변동은 조용히 라인 수율을 감소시킬 수 있습니다. 히터는 단순한 배경의 박스가 아니라, 리소그래피에서 치수 제어를 지배하는 열 예산을 설정합니...
RTP 시스템용 할로겐 램프
열적 예산은 제조 현장에서 절대 타협하지 않는 요소입니다. RTP 동안 온도 균일성의 흔들림은 접합 깊이에 영향을 미치며, 포토레지스트 베이킹이 몇 도만 틀어져도 선폭 제어는 물 건너갑니다. RTP 시스템의 핵심에 있는 할로겐 램프? 바로 여기서 열적 규율이 시작됩니...