액셀리스 히터 요소 예비품

300mm 라인에서 열 드리프트는 “가능성” 문제가 아니라 라인을 멈추는 문제다. 한 번의 백 오븐 공정이 규격을 벗어나면 웨이퍼 전반에 걸쳐 주요 치수가 이동한다. 이는 되돌릴 수 없는 수시간의 작업 손실이다. Axcelis 히터 요소 예비 부품은 교대 근무마다 동...