와이퍼의 수율을 해치는 램프 고장을 막아보세요. 고부하가 걸리는 반도체 생산 환경에서 램프가 고장나는 것은 단순히 생산 중단으로 이어질 뿐만 아니라, 정말 큰 문제가 됩니다. 쿼츠관이 파열되면 유리 조각과 화학물질들이 와이퍼 위로 떨어집니다. 한 번만 고장 나도 전체...

더 이상 뜨거운 공기에 의존하지 마세요: 웨이퍼를 가열하는 더 효과적인 방법 여전히 많은 반도체 생산 라인에서 뜨거운 공기를 이용한 가열 방식이 사용되고 있습니다. 특히 오래된 설비에서는 이런 방식이 흔합니다. 하지만 솔직히 말해서, 이 방식은 너무 느립니다. 대류...

왜 클린룸용 트롤리 히터에서 강제 공기 순환 방식을 적외선 방식으로 바꾸는가? 반도체 제조 공정에 종사해본 사람이라면 “트롤리를 기다리는 시간”이 얼마나 짜증나는지 잘 알 것입니다. 이는 전형적인 병목 현상입니다. 구식 설비들은 대부분 뜨거운 공기를 이용해 가열합니다...

방전된 램프로 인해 웨이퍼가 손상되는 것을 어떻게 막을 수 있을까? 반도체 공장에서 램프가 고장 나는 것은 큰 재앙입니다. 단순히 기계가 잠시 멈추는 문제가 아닙니다. 고부하 작동 중에 석영관이 파손되면 유리 조각과 먼지가 사방으로 튀어나옵니다. 이는 웨이퍼에 치명적...

팹에서는 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 열 변동이나 세척 후 남아 있는 수분도 문제가 됩니다. 이러한 요소들은 생산 속도를 저하시킬 뿐만 아니라, 웨이퍼의 치수도 변화시켜 수율에도 영향을 미칩니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 반도체용 적외선 가열등을 개발...

Role 리소그래피 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 공정 단계가 아니다. 이는 패턴이 반복되는 것과 스크랩 통으로 가는 배치의 경계선이다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 2°C의 온도 편차는 치수 공차(CD)를 이동시키고, 베이크 중 발생하는 입자 생성은 수율 저...