化学ウェーハを加熱する際に、物質が危険な状態にならないようにするためには、どうすればよいでしょうか？
正直に言って、IRランプを化学洗浄液の中で使うのは、まるで火遊びのようなものです。空気中には揮発性有機化合物や可燃性の蒸気が漂っています。ちょっとした火花や表面温度の急上昇があれば、単に製品がダメになるだけでなく、爆発につながる可能性もあります。
そのため、私たちは単純な石英管を使うのをやめ、特殊な封止処理を施したものを使用するようにしました。
「安全ギャップ」の難しさ
IRエミッタとウェーハとの間の距離を適切に調整するのは難しい作業です。単に熱が均等に分布するだけでは不十分です。部屋全体が炎上しないようにしなければなりません。
ランプが近すぎると、ウェーハに残った化学物質が過熱してしまいます。それによりガスが発生し、これは避けたいことです。しかし、ランプを遠くに置きすぎると、熱密度が低下し、処理時間が長くなってしまいます。
この問題を解決するために、私たちは特殊な石英製のケースや密閉型のハウジングを使用しています。これにより、化学蒸気がエミッタに触れるのを防げます。
材料の重要性
私たちは、加熱素子を高純度の石英や特殊なガラス製の容器に封じ込めています。これにより、電気アークが管内に留まります。また、接続部分にも強化されたシールを施しています。なぜでしょうか？腐食性のあるガスが配線を破壊してしまうからです。普通のランプを化学環境に置くと、シールが壊れて数週間でランプが壊れてしまいます。これは無駄遣いです。私たちの封止型装置は、酸性ガスに耐えられるように作られています。
妥協点
ただし、ランプを保護ケースで覆うと、熱伝達の速度がわずかに低下します。でも、それは問題ではありません。ワット数を上げたり、安全距離を調整することで対処できます。もちろん、施設の防爆基準を遵守しなければなりません。
そして、排気システムがしっかり機能しているか確認しましょう。そうすれば、加熱エリアからガスが外に排出され、全体が安全になります。