अपने वैक्यूम चेंबर की दीवारों को गर्म न करें।
वैक्यूम चेंबर में वेफरों को गर्म करना एक बहुत ही कठिन कार्य है। यदि आप मानक इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग करते हैं, तो ऊष्मा हर दिशा में फैल जाती है… यह बहुत ही जटिल स्थिति है।
परिणाम? चेंबर की दीवारें गर्म हो जाती हैं। आपके महंगे सेमीकंडक्टर उपकरण तो बेकार ही ऊष्मा को सोखने वाले उपकरण बन जाते हैं… यह न केवल बिजली की बर्बादी है, बल्कि मशीन के पास खड़े व्यक्तियों के लिए भी खतरनाक है… धीरे-धीरे चेंबर की दीवारें भी विकृत हो जाती हैं… यह बिल्कुल भी अच्छा नहीं है।
हम ऊष्मा-लीकेज को कैसे ठीक करते हैं?
हम इस समस्या को इन्फ्रारेड तरंगों को निर्देशित करके ही हल करते हैं… लैंप से निकलने वाली ऊष्मा को हर दिशा में न जाने देकर, हम विशेष रिफ्लेक्टरों एवं वैक्यूम-सुरक्षित कोटिंगों का उपयोग करके उस ऊष्मा को सीधे वेफर तक पहुँचाते हैं… इस तरह दीवारें गर्म नहीं होतीं… आपका वेफर आवश्यक तापमान तक पहुँच जाता है, बिना आपके अन्य उपकरणों को नुकसान पहुँचाए।
वैक्यूम संबंधी समस्याएँ
मानक इन्फ्रारेड लैंप, वैक्यूम में ऑक्सीजन/गैसों के कारण खराब हो जाते हैं… सेमीकंडक्टर उद्योग में, एक छोटा सा कण ही पूरी बैच को नष्ट कर सकता है… यह बहुत ही खतरनाक स्थिति है…
इसी कारण हम उच्च-शुद्धता वाले क्वार्ट्ज एवं विशेष सीलों का उपयोग करते हैं… इससे चेंबर साफ रहता है।
दोष एवं उनका समाधान
लेकिन एक समस्या यह है कि जब हम ऊष्मा को एक निश्चित बिंदु पर केंद्रित करते हैं, तो वहाँ बहुत ही अधिक ऊष्मा जमा हो जाती है… यह तो दीवारों को बचाता है, लेकिन लक्ष्य सामग्री पर बहुत ही अधिक दबाव पड़ता है… आपको PID कंट्रोलरों का ध्यान रखना होगा… ताकि तापमान नियंत्रण में रहे… साथ ही, कूलिंग सिस्टम की भी जाँच करें… यदि वह ऐसी अधिक ऊष्मा को सहन नहीं कर सकता, तो फिलामेंट जल जाएगा…
अच्छी बात यह है कि हमने ऐसे लैंपों को डिज़ाइन किया है, जिन्हें आप अपने मौजूदा वैक्यूम चेंबरों में ही उपयोग में ला सकते हैं… इससे आपको अपने उपकरणों को पुनः डिज़ाइन करने की आवश्यकता ही नहीं है।