फैब फ्लोर पर, आपको तो पता ही है कि क्या होना चाहिए। फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में 0.2°C का भी अंतर, महत्वपूर्ण आयामों के नियंत्रण को बिगाड़ सकता है। जब वैक्यूम चैंबर में उपयोग होने वाला इन्फ्रारेड हीटर ठीक से काम नहीं करता, तो न केवल उत्पादन प्रभावित होता है, बल्कि निर्धारित समय-सारणी भी बिगड़ जाती है। हमने अपने इन्फ्रारेड हीटर को ऐसे ही डिज़ाइन किया है कि वह आधुनिक वेफर प्रसंस्करण प्रक्रियाओं की आवश्यकताओं को पूरा कर सके, एवं सेमीकंडक्टर उपकरणों की आवश्यकताओं को भी पूरा कर सके।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम ऐसे शॉर्ट-वेव NIR उत्सर्जकों का उपयोग करते हैं, जो तेज़ गति से काम करते हैं एवं स्पेक्ट्रल नियंत्रण में भी उत्कृष्ट हैं। इससे वेफर पर तापीय समानता ±0.1°C के भीतर बनी रहती है। चक्र-दर-चक्र प्रक्रिया में भी तापीय समानता ±0.5°C के भीतर ही बनी रहती है। हीटर का डिज़ाइन क्लास 1–100 के क्लीनरूमों के लिए ही किया गया है; इसमें कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है, ताकि वेफर पर कोई दूषित पदार्थ न जम सके। वैक्यूम में भी ऊर्जा स्थिर रहती है, एवं 24/7 कार्यप्रणाली में भी तापीय प्रोफ़ाइल स्थिर ही रहती है।
यह लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं के लिए क्यों उपयुक्त है?
लिथोग्राफी एवं फोटोरेजिस्ट प्रक्रियाओं में तापीय संतुलन बहुत ही महत्वपूर्ण है। यह हीटर, बेकिंग प्रक्रिया के दौरान निर्धारित तापमान को बनाए रखता है; इससे वेफर की सतह पर रूखापन कम होता है एवं CD समानता भी बेहतर होती है। दक्षता, चैंबर की दीवारों को गर्म करने के बजाय, लक्षित वस्तुओं को गर्म करके ही प्राप्त होती है। विश्वसनीयता का अर्थ है कम रुकावटें – ये उपकरण आमतौर पर 5,000+ घंटे तक काम कर सकते हैं, एवं उत्पादन में 5% से भी कम की कमी होती है। प्रक्रिया इंजीनियरों के लिए यह बात बहुत ही महत्वपूर्ण है, क्योंकि इससे प्रक्रिया अधिक प्रत्याशित रूप से ही संचालित होती है, एवं पुनर्कार्य की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
स्थापना के दौरान क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
चैंबर के फ्लेंज, फीडथ्रू एवं पावर इंटरफेस को ठीक से मेल करना आवश्यक है। एकीकरण से पहले चैंबर की ज्यामिति एवं वोल्टेज स्तर की जाँच आवश्यक है। हीटर, तब ही सबसे अच्छा काम करता है, जब चैंबर की दीवारें साफ एवं परावर्तक हों – कोई भी परत या अवशेष तापीय संतुलन को बिगाड़ सकता है। शुरुआत के बाद थोड़ा समय लगता है, ताकि उत्सर्जन एवं नियंत्रण प्रणाली स्थिर हो जाए। एक बार ऐसा हो जाने के बाद, प्रक्रिया नियंत्रण में ही रहती है।