दीवारों को गर्म न करें: क्लीन रूम ओवens को संचालित करने का बेहतर तरीका
क्या आपने कभी ध्यान दिया है कि सामान्य कन्वेक्शन ओवens, वास्तव में पूरी मशीन को एक विशाल रेडिएटर में बदल देते हैं? ऐसे ओवens हवा को गर्म करते हैं, जिसके कारण उपकरण की आंतरिक दीवारें भी बहुत अधिक ऊर्जा अवशोषित कर लेती हैं। सेमीकंडक्टर क्लीन रूम में यह बहुत ही समस्याजनक है… ऐसी स्थिति में उपकरण का बाहरी हिस्सा बहुत गर्म हो जाता है, और बिजली की खपत भी बहुत अधिक हो जाती है।
हमें एक बेहतर तरीका मिला – डायरेक्शनल इन्फ्रारेड (IR) हीटिंग।
यही रहस्य है… ओवen में मौजूद हर एक घन इंच की हवा को गर्म करने के बजाय, IR लैंप विद्युत-चुम्बकीय विकिरण को सीधे कार्यवस्तु पर भेजते हैं। ऊर्जा तभी गर्मी में बदलती है, जब वह कार्यवस्तु से टकरती है।
इसका मतलब है कि हवा ठंडी ही रहती है… मशीन की आंतरिक दीवारें भी गर्म नहीं होतीं। और सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि ऑपरेटरों को उपकरण के पास खड़े रहने से कोई खतरा नहीं होता।
इसे संभव बनाने हेतु, हम शॉर्ट-वेव IR एमिटरों का उपयोग करते हैं… ये ऊर्जा को गहराई तक पहुँचाते हैं, एवं तेजी से प्रतिक्रिया देते हैं। हम इन्हें सटीक रिफ्लेक्टरों के साथ उपयोग में लाते हैं, ताकि ऊर्जा सीधे वेफर/सब्सट्रेट पर ही पहुँचे… बाकी सब कुछ ठंडा ही रहता है।
लेकिन हार्डवेयर के बारे में एक बात सावधान रहने योग्य है… आपको अपने पावर कंट्रोलरों को बिल्कुल सही तरीके से सेट करना होगा… IR लैंप बहुत ही संवेदनशील होते हैं… वोल्टेज में थोड़ा भी बदलाव होने से वॉटेज में बहुत बड़ा उतार-चढ़ाव हो सकता है… अगर आप इन लैंपों पर बहुत दबाव डालेंगे, तो वे नष्ट हो सकते हैं… यह एक संतुलन बनाए रखने वाला मामला है।
यह कोई जादुई समाधान नहीं है… कुछ समस्याएँ तो रह ही जाती हैं…
सबसे बड़ी समस्या “लाइन-ऑफ-साइट” है… चूँकि ऊर्जा सीधी रेखा में ही आगे बढ़ती है, इसलिए जटिल आकृतियों या आपस में ओवरलैप होने वाले हिस्सों के कारण छायाएँ बन जाती हैं… ऐसी स्थिति में कुछ हिस्से ठंडे ही रह जाते हैं…
इस समस्या को दूर करने हेतु, हम आमतौर पर मल्टी-लैंप एरे का उपयोग करते हैं… ताकि हर कोना कवर हो सके।
और अंत में… ऐसे उच्च-वॉटेज एरे बहुत अधिक बिजली खपत करते हैं… आपको विशेष सर्किटों की आवश्यकता होगी… अन्यथा आपको विद्युत शोर की समस्या का सामना करना पड़ सकता है… ऐसी समस्याओं से बुधवार की सुबह बचना ही बेहतर है।