अपने वैक्यूम चेंबर की दीवारों को गर्म न करें। वैक्यूम चेंबर में वेफरों को गर्म करना एक बहुत ही कठिन कार्य है। यदि आप मानक इन्फ्रारेड हीटरों का उपयोग...

फैब फ्लोर पर, आपको तो पता ही है कि क्या होना चाहिए। फोटोरेजिस्ट को सुखाने की प्रक्रिया में 0.2°C का भी अंतर, महत्वपूर्ण आयामों के नियंत्रण को बिगाड़...