工业晶圆干燥系统加热器

在工厂车间，您知道流程：在晶圆干燥或光刻胶烘烤过程中，0.1℃的偏差可以悄无声息地降低产线良率。加热器不仅仅是背景中的一个设备——它设定了控制光刻中尺寸的热预算。我们为这一现实构建了工业晶圆干燥系统加热器，在这里，工艺纪律是不可妥协的，而计划外的停机直接导致晶圆报废。 技术上重要的内容 我们在基于...