Hoe voorkom je dat een kapotte lamp je wafers schaadt?
In semiconductiefabrieken is het een nachtmerrie wanneer een lamp kapotgaat. Het gaat niet alleen om het feit dat de machine even stopt met werken. Als er tijdens een zware belasting een kwartsbuis kapotgaat, vliegen er glasdeeltjes en stof overal heen. Dat leidt tot onmiddellijke vervuiling van je wafers.
We hebben onze goudcoateerde infraroodlampen ontworpen om dit te voorkomen, terwijl we er tegelijkertijd voor zorgen dat je nog steeds voldoende warmte krijgt.
Waarom goud?
Standaard kwartslampen geven warmte in alle richtingen af – de meeste warmte verdwijnt gewoon in de lucht. We lossen dit op door een dunne laag goud op de buitenkant van de buis aan te brengen. Denk erbij aan een spiegel: het goud weerkaatst de infrarode energie rechtstreeks naar de wafer. Hierdoor wordt de warmte beter gericht, zonder dat je de spanning op gevaarlijke niveaus hoeft te brengen. Dit voorkomt dat de kwartsbuis beschadigd raakt.
Voorkomen dat dingen exploderen
Meestal gebeuren explosies door thermische schokken of plotselinge hittepunten. Om dit tegen te gaan, gebruiken we synthetisch kwarts van hoge kwaliteit, dat bestand is tegen deze belastingen. De goudlaag helpt ook, omdat deze de warmte gelijkmatiger over de buis verdeelt.
Een tip: gebruik altijd een beschermende huls rondom de lamp. Als de lamp toch kapotgaat, fungeert de huls als schild, zodat de brokstukken de wafers niet raken. Zorg ervoor dat er geen oneffenheden zijn tussen de lamp en de huls. Anders ontstaan er hittepunten die de buis te snel kunnen beschadigen.
De trade-offs (en hoe je ze kunt omzeilen)
Goud maakt de lamp efficiënter, maar het is ook gevoelig. Eén kleine kras kan al voor problemen zorgen, waardoor warmte niet goed meer wordt gereflecteerd. Dit leidt tot meer hittepunten.
Draag altijd handschoenen.
Vingerafdrukken laten olie op het glas achter. Als deze olie zich in de coating vastzet, blijven er permanente donkere vlekken achter, waardoor het verwarmingssysteem niet meer goed werkt.
Nog één tip op het gebied van elektriciteit: gebruik een precies PID-regelsysteem. Als je de stroom te snel aan en uit zet, wordt de levensduur van de lamp verminderd. Controleer ook of de koelfans geschikt zijn voor de benodigde hittebelasting. Anders kunnen de verbindingen beschadigd raken.