Op de productieafdeling zijn thermische afwijkingen tijdens het verhitten van de fotoresist of restanten van vocht na het schoonmaken geen probleem dat alleen de productiecapaciteit beïnvloedt. Ze kunnen ook de belangrijkste afmetingen van de halfgeleiders beïnvloeden en daardoor de opbrengst verminderen. We hebben deze infraroodverwarmingslampen ontwikkeld om de temperatuur goed onder controle te houden – op het gewenste niveau, cyclus na cyclus.
Wat belangrijk is bij het gebruik van deze lampen
We gebruiken kortegolf-infraroodemitters met snel reagerende kwartscomponenten. Hierdoor wordt er snel en gericht warmte gegenereerd, zodat de temperatuur in onder seconden kan worden geregeld. De uniformiteit op het niveau van de wafer is ±0,1°C, en de herhalbaarheid blijft hoog, ongeacht hoeveel lopsten er worden geproduceerd. Het ontwerp is geschikt voor gebruik in zuiverruimtes van klasse 1 tot klasse 100; er wordt geen stof gegenereerd en er is weinig uitstoot van gassen. De uitgangssnelheid blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% afwijking in intensiteit. Dankzij de gesloten regelsysteem blijft de temperatuur precies zoals gewenst. Bovendien is het compacte formaat ideaal om deze lampen gemakkelijk in bestaande apparaten te integreren.
Waarom ze bruikbaar zijn in de praktijk
Bij het drogen van wafer breekt de gefocuste warmte snel de oppervlaktespanning, waardoor er minder residuen achterblijven. Hierdoor kan de productiecapaciteit behouden blijven. In de litografie zorgt de lamp voor een consistent temperatuurprofiel, zodat de kwaliteit van de halfgeleiders behouden blijft. Tijdens het verpakken versnelt de lamp het drogen van de componenten, waardoor de tijd die nodig is om ze te verpakken korter wordt en de energieverbruik wordt verminderd. Bij het schoonmaken en drogen zorgt de lamp ervoor dat alle residuen verdwijnen; er blijven geen vlekken of restanten over. Het resultaat is minder problemen, een stabiele productie en betrouwbare prestaties.
Wat je moet onthouden
Deze lampen hebben schoon stroomvoorziening en nauwkeurige temperatuursensoren nodig om optimaal te functioneren. Pas het spectrum en de vermogensdichtheid van de emitters aan op het materiaal en de geometrie van de apparaten. Er is een korte opwarmtijd nodig om de gewenste temperatuur te bereiken. Zorg voor goede alignering en kalibratie, zodat je consistente resultaten krijgt met minimale onderhoudskosten.