전문 반도체 장비 부품

제조 현장에서 열 성능은 ‘있으면 좋은 것’이 아니다. 공정이 규격 내에 머무를지, 아니면 편차가 발생해 웨이퍼가 폐기될지를 가르는 경계선이다. 베이크 램프가 어두워지거나, 핫존이 이동하거나, 히터가 고장 나면 유예 기간은 없다. 리소그래피 오버레이가 이탈하고, 포토...