진공에 적합한 적외선 히터

진공 챔버의 벽을 가열하는 것을 중단하세요 진공 챔버 내부의 웨이퍼를 가열하는 것은 상당히 까다로운 작업입니다. 일반적인 복사형 히터를 사용할 경우, 열이 사방으로 퍼져나가서 혼란스러워집니다. 그 결과, 챔버의 벽이 과도하게 가열됩니다. 이렇게 되면 값비싼 반도체 장...