웨이퍼 가열 시의 안전 거리
화학 웨이퍼를 가열할 때 안전을 지키는 방법
솔직히 말해서, 화학적 세척 과정에서 적외선 램프를 사용하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 공기 중에는 휘발성 유기 화합물과 인화성 증기들이 남아 있습니다. 조금만 스파크가 발생하거나 표면 온도가 급격히 상승해도,...
방수형 가열 테이블 IP44
왜 적외선 히터가 계속 고장 나는가? 그리고 이를 해결하는 방법은?
적외선 히터에 관한 작은 비밀이 있습니다. 사실, 가열 요소 자체가 문제가 되는 경우는 드뭅니다. 대개는 전선과 석영관이 연결되는 부분에서 문제가 발생합니다.
만약 습한 작업장이나 먼지가 많은 산업...
에너지 절약형 반도체 히터
와이퍼의 수율을 해치는 램프 고장을 막아보세요.
고부하가 걸리는 반도체 생산 환경에서 램프가 고장나는 것은 단순히 생산 중단으로 이어질 뿐만 아니라, 정말 큰 문제가 됩니다.
쿼츠관이 파열되면 유리 조각과 화학물질들이 와이퍼 위로 떨어집니다. 한 번만 고장 나도 전체...
교체용 히팅 요소 IP65
왜 욕실용으로 IP65 등급의 적외선 히터를 사용하는가?
솔직히 말해서, 기존의 욕실용 히터들은 그다지 신뢰할 수 없습니다. 이러한 히터들은 일반적인 필라멘트를 사용하며, 습한 환경에는 전혀 적합하지 않습니다. 아마도 여러분도 그런 히터들을 본 적이 있을 것입니다....
방수형 가열 테이블 IP44
우리가 이 제품을 만든 이유
샤워를 마치고 나왔을 때, 몸이 철저히 차가워지는 경험, 있으시죠? 그 느낌을 잘 알고 있습니다. 바로 그런 이유로 우리는 이 적외선 난방기를 만들었습니다.
이 제품의 목적은 단순히 욕실의 온도를 조금 높이는 것이 아닙니다. 필요한 순간에...
LPCVD 용광로 가열 요소
팹 내에서는, 용광로의 가열 요소가 단순한 열원에 그치지 않습니다. 이 요소는 박막의 두께를 조절하고, 응력을 제어하며, 접합부의 안정성을 유지하는 역할도 합니다. 약간의 온도 변동만 있어도 품질이 급격히 떨어집니다. 게다가 입자가 발생하면 전체 생산량이 폐기되어버립...
빠르게 열을 내는 히터
추위는 빠르게 다가옵니다. 잠시 전까지만 해도 테라스에서 즐거운 시간을 보내고 있었는데, 순식간에 저녁시간이 줄어들고 맙니다. 바람이 선 거실의 한쪽 구석이나 따뜻해지지 않는 작업실은 시간과 편안함을 앗아갑니다. 우리는 비용을 들이지 않고도 안정적인 온기를 제공할 수...
반도체형 적외선 가열 램프
팹에서는 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 열 변동이나 세척 후 남아 있는 수분도 문제가 됩니다. 이러한 요소들은 생산 속도를 저하시킬 뿐만 아니라, 웨이퍼의 치수도 변화시켜 수율에도 영향을 미칩니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 반도체용 적외선 가열등을 개발...
반도체 난방 기술의 미래
Role 리소그래피 공정에서 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 공정 단계가 아니다. 이는 패턴이 반복되는 것과 스크랩 통으로 가는 배치의 경계선이다. 웨이퍼 전반에 걸쳐 2°C의 온도 편차는 치수 공차(CD)를 이동시키고, 베이크 중 발생하는 입자 생성은 수율 저...