웨이퍼 가열 시의 안전 거리

화학 웨이퍼를 가열할 때 안전을 지키는 방법 솔직히 말해서, 화학적 세척 과정에서 적외선 램프를 사용하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같습니다. 공기 중에는 휘발성 유기 화합물과 인화성 증기들이 남아 있습니다. 조금만 스파크가 발생하거나 표면 온도가 급격히 상승해도,...