센서 포장 시 IR 에너지를 최대한 활용하는 방법
스마트 센서를 포장할 때는 단 1와트라도 소중합니다. 에너지가 실리콘에 도달해야 할 곳이 아닌 챔버의 벽면으로 낭비되는 것은 매우 당황스러운 일입니다.
핵심은 그 열에너지를 정확히 필요한 곳으로 보내는 것입니다. 그래서 우리는 금으로 코팅된 적외선 반사체를 사용합니다.
왜 금을 선택해야 할까요?
대부분의 사람들은 알루미늄을 사용하지만, 문제는 알루미늄이 너무 많은 에너지를 흡수한다는 점입니다. 결국 에너지는 웨이퍼에 도달하기 전에 이미 소모됩니다.
반면 금은 다릅니다. 금은 적외선을 매우 효율적으로 반사합니다. 에너지가 하우징 안으로 스며들거나 무작위로 흩어지는 대신, 금 코팅이 그 광자들을 다시 목표 지점으로 보냅니다. 마치 열을 반사하는 거울과 같아서 모든 에너지가 웨이퍼에 집중됩니다.
속도 향상과 위험
에너지가 집중되기 때문에 열 플럭스도 훨씬 높아집니다. 매우 빠르죠. 이로 인해 처리 시간이 줄어들어 전체 포장 공정이 원활하게 진행됩니다.
하지만 주의해야 합니다. 에너지가 너무 집중되기 때문에 정확한 정렬이 필요합니다. 만약 램프의 위치가 몇 밀리미터만 틀어져도, 웨이퍼에 과열이 발생하여 제품에 손상을 줄 수 있습니다. 그래서 항상 정확한 정렬을 유지하는 것이 중요합니다.
단점
금은 훌륭하지만 완벽한 것은 아닙니다.
만약 공정에서 부식성 가스가 사용되거나 포장 과정에서 많은 가스가 방출된다면, 금 코팅이 오염될 수 있습니다. 오염물이 쌓이면 반사율이 떨어집니다.
이러한 문제를 피하려면 챔버를 항상 깨끗하게 유지해야 합니다. 혹은 보호용 석영 커버를 사용하여 반사체를 보호하는 것이 좋습니다. 이렇게 하면 장기적으로 청소와 가동 중단 시간을 크게 줄일 수 있습니다.