웨이퍼형 적외선 램프

팹에서는 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.1°C만큼의 온도 변동이 발생해도 회로선의 굵기가 변하고, 좋은 품질의 웨이퍼가 폐기물이 될 수 있습니다. 이러한 온도 변동을 원천적으로 방지하기 위해 칩온웨이퍼용 적외선 램프가 개발되었습니다. 이 램프는 웨이퍼 단위의 정...