可与真空环境兼容的红外加热器

停止加热真空室壁面 在真空室内为晶圆加热其实是一件很麻烦的事。如果使用普通的辐射式加热器，热量会四处散开，这样既不高效，还会造成混乱。其结果是：真空室壁面会变得过热。这样一来，昂贵的半导体加工设备就变成了吸收废热的“海绵”。这不仅浪费电能，还对操作人员构成安全风险；长期而言，还可能使真空室壁面变形...