Ngừng việc làm nóng các bức tường của buồng chân không
Việc làm nóng các tấm wafer bên trong buồng chân không thực sự là một vấn đề khó giải quyết. Nếu sử dụng các bộ sấy bằng tia hồng ngoại thông thường, nhiệt lượng sẽ lan tỏa ra mọi hướng, gây ra tình trạng hỗn loạn. Kết quả là các bức tường trong buồng chân không sẽ trở nên quá nóng. Các thiết bị sản xuất bán dẫn đắt tiền của bạn sẽ trở thành “khẩu nước bọt” hấp thụ năng lượng thừa. Điều này không chỉ là sự lãng phí điện năng mà còn gây nguy hiểm cho những người làm việc gần máy móc. Theo thời gian, các bức tường của buồng chân không cũng có thể bị biến dạng. Điều này rõ ràng không phải là điều tốt.
Cách chúng tôi khắc phục vấn đề này
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng tia hồng ngoại có hướng chiếu rõ ràng. Thay vì để ánh sáng lan tỏa ra mọi hướng, chúng tôi sử dụng các bộ phản xạ và lớp phủ chống chân không để đưa năng lượng vào chính vị trí cần thiết – đó là bề mặt của tấm wafer. Bằng cách này, nhiệt lượng sẽ không ảnh hưởng đến các bức tường của buồng chân không. Bạn vẫn có thể đưa tấm wafer lên nhiệt độ mong muốn mà không cần phải làm cho các bộ phận khác của thiết bị trở thành “bộ hấp thụ nhiệt”.
Vấn đề liên quan đến chân không
Vấn đề là các bóng đèn hồng ngoại thông thường thường bị hỏng trong môi trường chân không do hiện tượng thoát khí. Trong ngành sản xuất bán dẫn, một hạt nhỏ cũng có thể phá hủy toàn bộ lô sản phẩm. Đó là một thảm họa mà chúng ta không thể chấp nhận được. Vì vậy, chúng tôi sử dụng thạch anh có độ tinh khiết cao và các bộ phận kín chuyên dụng để giữ cho buồng chân không luôn sạch sẽ.
Những thách thức và cách khắc phục
Tuy nhiên, việc tập trung nhiệt lượng vào một điểm cụ thể cũng gây ra áp lực lớn lên vật liệu được xử lý. Bạn cần phải cẩn thận khi điều chỉnh nhiệt độ bằng bộ điều khiển PID, để tránh việc nhiệt độ vượt quá mức mong muốn. Ngoài ra, bạn cũng cần kiểm tra kỹ lưỡng bộ tản nhiệt. Nếu bộ tản nhiệt không đủ khả năng xử lý lượng nhiệt lớn này, filamen của bóng đèn sẽ bị hỏng rất nhanh. Tin tốt là chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn này sao cho có thể thay thế ngay lập tức cho các bóng đèn hiện có. Chúng có thể được lắp đặt ngay vào hệ thống chân không hiện tại của bạn, vì vậy bạn không cần phải thiết kế lại toàn bộ hệ thống để có được hiệu suất tốt hơn.