Máy sưởi hồng ngoại tương thích với môi trường chân không
Ngừng việc làm nóng các bức tường của buồng chân không
Việc làm nóng các tấm wafer bên trong buồng chân không thực sự là một vấn đề khó giải quyết....
Lò sưởi hồng ngoại trong buồng chân không
Trong quy trình sản xuất wafer, bạn biết rồi đấy: chỉ cần nhiệt độ của chất phủ quang học thay đổi 0,2°C thôi cũng đủ khiến việc kiểm soát kích thước...