Trong quy trình sản xuất wafer, bạn biết rồi đấy: chỉ cần nhiệt độ của chất phủ quang học thay đổi 0,2°C thôi cũng đủ khiến việc kiểm soát kích thước các chi tiết trên wafer bị sai lệch. Khi bộ sưởi bằng tia hồng ngoại trong buồng chân không hoạt động kém hiệu quả, không những tỷ lệ thành phẩm giảm mà lịch trình sản xuất cũng bị ảnh hưởng. Chúng tôi thiết kế bộ sưởi này sao cho có thể đáp ứng được các yêu cầu nghiêm ngặt về kiểm soát nhiệt độ trong quy trình chế tạo wafer hiện đại, đồng thời đáp ứng được các tiêu chuẩn của thiết bị bán dẫn.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng các bộ phát tia hồng ngoại tần số cao, có khả năng phản ứng nhanh và kiểm soát phổ tia chính xác. Nhờ đó, độ đồng đều về nhiệt độ trên bề mặt wafer được duy trì ở mức ±0,1°C. Độ lặp lại giữa các chu kỳ nung cũng được duy trì ở mức ±0,5°C, giúp đảm bảo chất lượng quy trình nung. Thân bộ sưởi được chế tạo để hoạt động trong môi trường sạch cấp độ 1–100; vật liệu sử dụng ít phát ra khí độc hại, và thiết kế của nó giúp tránh sự ô nhiễm trên bề mặt wafer. Công suất điện luôn ổn định trong môi trường chân không, và độ đồng đều về nhiệt độ vẫn được duy trì ngay cả khi hoạt động 24/7.
Tại sao nó phù hợp với quy trình in ấn và xử lý chất phủ quang học Trong quy trình in ấn và xử lý chất phủ quang học, mức nhiệt được quy định rất chặt chẽ. Bộ sưởi này giúp duy trì nhiệt độ cần thiết trong quá trình nung, không gây ra sự dao động nhiệt độ, từ đó giảm độ thô của các đường viền trên wafer và nâng cao độ đồng đều của kích thước wafer. Hiệu suất của bộ sưởi đến từ việc làm nóng chính bề mặt wafer, chứ không phải các bức tường của buồng chân không. Độ tin cậy của bộ sưởi giúp giảm số lần dừng máy không mong muốn; các thiết bị này có thể hoạt động liên tục 5.000 giờ trở lên với tỷ lệ suy giảm hiệu suất dưới 5%. Điều này giúp các kỹ sư quy trình có thể dự đoán được kết quả sản xuất một cách chính xác hơn, và giảm thiểu việc phải sửa chữa lại.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Bạn cần đảm bảo rằng các bộ phận kết nối của buồng chân không và bộ sưởi phù hợp với nhau. Hãy kiểm tra kỹ hình dạng của buồng chân không và mức điện áp trước khi lắp đặt. Bộ sưởi hoạt động tốt nhất khi các bức tường của buồng chân không được giữ sạch và có khả năng phản chiếu tia tốt; bất kỳ lớp phủ hay chất còn sót lại nào cũng có thể làm thay đổi sự cân bằng nhiệt. Sau khi bắt đầu hoạt động, cần có một khoảng thời gian để bộ sưởi ổn định lại, sau đó quy trình sản xuất mới có thể diễn ra một cách ổn định.