Trên sàn sản xuất, bạn đã quen với việc này: biến động 0.1°C trong quá trình sấy wafer hoặc nung photoresist có thể âm thầm làm giảm tỷ lệ thành phẩm...

Ngân sách nhiệt là điều bạn không thể thương lượng trên sàn sản xuất. Một sự rung lắc trong độ đồng nhất nhiệt độ trong quá trình RTP sẽ ảnh hưởng...