Припиніть нагрівання стінок вакуумної камери
Нагрівання пластинки всередині вакуумної камери є справжньою проблемою. Якщо використовувати звичайні інфрачервоні нагрівачі, тепло розсіюється в усіх напрямках. Це призводить до „гарячих стінок“. Ваш дорогий обладнання для обробки напівпровідників фактично перетворюється на гігантську губку для марного енергоспоживання. Це не лише марна трата електроенергії, а й загроза безпеці для людей, які знаходяться поруч із обладнанням. Крім того, з часом стінки камери можуть деформуватися. Це зовсім не ідеально.
Як ми вирішуємо проблему витоку тепла
Ми вирішуємо цю проблему за допомогою інфрачервоного випромінювання. Замість того, щоб дозволяти лампі випромінювати тепло в усіх напрямках, ми використовуємо спеціальні відбивачі та покриття, стійкі до вакууму, щоб направити енергію саме туди, де вона потрібна – на саму пластинку. Таким чином тепло не потрапляє на стінки камери. Ви можете нагріти пластинку до потрібної температури, не перегріваючи решту обладнання.
Проблема вакууму
Проблема полягає у тому, що звичайні інфрачервоні лампи зазвичай руйнуються у вакуумі через вимивання газів. У світі напівпровідників одна мікроскопічна частинка може знищити цілу партію продукції. Це справжня катастрофа, яку не можна допускати. Тому ми використовуємо кварц високої чистоти та спеціальні ущільнювачі. Це допомагає підтримувати чистоту в камері.
Компроміси та як їх подолати
Є один недолік: коли ви фокусуєте промінь, ви концентруєте багато тепла в одній точці. Хоча це допомагає захистити стінки камери, це також створює значний тиск на матеріал, який піддається нагріву. Вам потрібно бути дуже обережними з контролерами температури, щоб не перевищити потрібну температуру. Також необхідно перевірити систему охолодження. Якщо вона не призначена для обробки такого інтенсивного тепла, філамент може швидко згоріти.
Хороша новина полягає у тому, що ми розробили ці лампи так, щоб вони могли замінити існуючі лампи. Вони ідеально підходять для вашого обладнання, тож вам не потрібно переробляти обладнання для досягнення кращих результатів.