Інфрачервоне випромінювання проти гарячого повітря: що насправді є кращим у процесі обробки напівпровідників?
Якщо ви намагаєтесь скоротити час обробки напівпровідників, ймовірно, ви вже розглядали можливість переходу від використання звичайного гарячого повітря до інфрачервоного опалення.
Справа у тому, що гаряче повітря є повільним засобом опалення. Воно ґрунтується на процесі конвекції – тобто спочатку нагрівається саме повітря, а потім сподіваєтьсяш, що це повітря нагріє об’єкт обробки. Це дуже повільний процес.
Інфрачервоне випромінювання є іншим рішенням. Воно не потребує посередників – електромагнітні хвилі передають енергію безпосередньо до поверхні об’єкта. Це відбувається миттєво.
Проблема „мертвого часу“
Уявіть собі системи з використанням звичайного гарячого повітря. Потрібно чекати, поки вся камера чи чиста кімната стабілізується. Це просто марна трата часу. Ви просто стоїте та чекаете, поки повітря нагріється.
Інфрачервоні обігрівачі досягають потрібної температури за кілька секунд. Це особливо помітно під час процесу висушування чи обробки матеріалів. Оскільки інфрачервоне випромінювання впливає на специфічні діапазони поглинання матеріалу, воно може проникати глибше та працювати швидше. Ви не чекаєте – ви одразу досягаєте бажаного результату.
Збереження чистоти в чистій кімнаті
Давайте поговоримо про проблему бруду. Переміщення великої кількості повітря – навіть з використанням фільтрів типу HEPA – є ризикованим. Вентилятори створюють затори частинок у повітрі. Інфрачервоні обігрівачі не створюють таких проблем. Немає вентиляторів, сложних систем вентиляції чи вітру. Це робить систему опалення менш гучною та чистою.
Недоліки
Інфрачервоне випромінювання не є ідеальним для всіх задач. Головне – це можливість прямого впливу на поверхню об’єкта. Якщо об’єкти мають складну форму чи глибокі щілини, хвилі не зможуть до них дістатися. У такому разі будуть утворюватися „холодні зони“. Щоб уникнути цього, потрібно використовувати відбивачі чи багатокомпонентні системи опалення.
Ще одна проблема – високоякісні лампи стають дуже гарячими. Якщо не забезпечити належне охолодження, можна пошкодити проводку чи сенсори.
У підсумку це є компромісом. Ви відмовляєтесь від „загального“ опалення на користь більш швидкого та ефективного методу. Для більшості людей це є вартим компромісом.