Припиніть нагрівання стінок: кращий спосіб експлуатації печей у чистих приміщеннях
Чи помічали ви, що звичайні конвективні печі фактично перетворюють всю печь на величезний радіатор? Вони нагрівають повітря, а це означає, що внутрішні стінки обладнання поглинають велику кількість енергії. У чистих приміщеннях для виробництва напівпровідників це справжній кошмар – корпус обладнання стає надзвичайно гарячим на дотик, а рахунки за електроенергію стають неприйнятно високими.
Ми знайшли кращий спосіб – це направлене інфрачервоне нагрівання.
Ось секрет: замість того, щоб нагрівати кожен кубічний сантиметр повітря в печі, лампи ІЧ-випромінювання посилають електромагнітне випромінювання прямо на об’єкт обробки. Енергія перетворюється на тепло лише тоді, коли потрапляє на матеріал, який потрібно обробити.
Це означає, що повітря залишається прохолодним. Внутрішні стінки обладнання не стають джерелом тепла. І, що найважливіше, оператори не ризикують отримати опіки через перебування поруч з обладнанням.
Щоб це працювало, ми використовуємо лампи ІЧ-випромінювання короткої довжини хвилі. Вони глибоко проникають у матеріал та швидко реагують. Ми поєднуємо їх із точними відбивачами, щоб направити тепло саме туди, де знаходиться пластина чи інший об’єкт обробки. Усе інше залишається прохолодним.
Але є одна заставка щодо обладнання: необхідно правильно налаштувати контролери потужності. Лампи ІЧ-випромінювання дуже чутливі – навіть незначна зміна напруги може призвести до значного зростання потужності. Якщо надмірно навантажувати лампи, вони можуть згоріти чи пошкодитися. Це складний баланс.
Це не чарівне рішення. Є кілька недоліків. Найбільшим з них є „лінія видимості“ – оскільки тепло поширюється прямою лінією, будь-яка складна геометрія чи перекриття елементів створюють темні зони. Також можуть виникнути прохолодні зони через відсутність циркуляції повітря.
Щоб усунути це, ми радимо використовувати систему з кількох ламп, щоб кожен кут був покритий.
Ще одне: ці лампи потребують великої кількості енергії. Тож необхідно використовувати окремі електричні ланцюги. Інакше можуть виникнути електромагнітні завади, які можуть пошкодити інше чутливе обладнання. Це не те, з чим хочеться мати справу в будній день.