На верстатному полі ви ж знаєте всі правила. Навіть незначне зміщення температури фотополімеру на 0,2°C може призвести до порушення параметрів контролю критичних розмірів. Коли інфрачервоний нагрівач у вакуумній камері починає працювати неефективно, ми втрачаємо не лише продуктивність, а й можливість дотримання часових графіків. Ми створили інфрачервоний нагрівач так, щоб він відповідав вимогам сучасної обробки пластин, відповідав специфікаціям обладнання для виробництва напівпровідників та був придатним для безперешкодного використання.
Що є важливим під час експлуатації
Ми використовуємо випромінювачі короткохвильового ІЧ-спектру з швидкою реакцією та точним контролем спектру. Це дозволяє забезпечити теплову однорідність на поверхні пластини в межах ±0,1°C. Повторюваність процесу залишається на рівні ±0,5°C, що забезпечує стабільність процесу нагрівання. Корпус нагрівача розроблений для використання в чистих кімнатах класу 1–100; використовуються матеріали з низьким рівнем випаровування та конструкція, яка запобігає потраплянню забруднень на пластину. Сила струму залишається стабільною в умовах вакууму, а тепловий профіль залишається стабільним навіть при цілодобовій роботі.
Чому цей нагрівач підходить для літографії та обробки фотополімерів
У процесах літографії та обробки фотополімерів тепловий баланс є фіксованим. Цей нагрівач зберігає задану температуру під час процесу нагрівання, що зменшує нерівномірність на краях ліній та покращує однорідність параметрів пластини. Ефективність полягає у нагріванні самої пластини, а не стінок камери. Надійність означає менше неспланованих зупинок – пристрої можуть працювати більше 5 000 годин зі зниженням продуктивності менше ніж на 5%. Для інженерів це означає більш передбачуваний результат та менше необхідності в переробці продукції.
На що потрібно звернути увагу під час встановлення
Необхідно забезпечити сумісність фланців камери, елементів підключення та інтерфейсу живлення. Перед інтеграцією необхідно перевірити геометрію камери та клас напруги. Нагрівач працює найкраще, коли стінки камери залишаються чистими та відбивними – будь-який шар або залишки можуть порушити тепловий баланс. Після запуску необхіден короткий період стабілізації для досягнення стабільних параметрів роботи. Після цього процес залишається під контролем.