
Hentikan kebiasaan mengubah alat pemroses wafer menjadi “oven”
Saat membangun alat pemroses wafer, hal terakhir yang diinginkan adalah membuang-buang energi untuk memanaskan dinding bagian dalam alat tersebut.
Sebagian besar elemen pemanas tradisional hanya memancarkan panas ke segala arah. Hal ini menyebabkan dinding-dinding alat menjadi panas, sehingga rangka alat pun ikut membesar. Lebih buruk lagi, hal ini menciptakan risiko keselamatan bagi orang-orang yang harus bekerja di dekat alat tersebut.
Kami menangani masalah ini dengan cara yang berbeda. Kami menggunakan sistem pemanasan inframerah yang dapat dikendalikan secara tepat.
Bagaimana cara kerjanya?
Bayangkan saja alat ini seperti senter, bukan bohlam biasa. Alih-alih membiarkan panas tersebar ke mana-mana, kami menggunakan reflektor dan pengirim gelombang tertentu untuk mengarahkan energi tersebut langsung ke permukaan wafer. Dengan demikian, panas akan sampai ke tempat yang seharusnya. Rangka alat tetap dingin, dan suhu yang diinginkan dapat dicapai tanpa perlu membuat bagian dalam alat menjadi sangat panas.
Mengapa hal ini memudahkan pekerjaan?
Ini merupakan solusi yang sangat bagus untuk sistem pendinginan alat tersebut. Jika Anda menggunakan lampu biasa, maka komponen pendingin harus bekerja keras untuk mencegah dinding alat menjadi terlalu panas. Namun, dengan sistem pemanasan inframerah ini, suhu di dalam alat akan turun secara signifikan.
Ini merupakan solusi yang sederhana, tetapi hal ini juga berarti para operator tidak akan terbakar saat membuka alat tersebut untuk perawatan. Ini tentu merupakan keuntungan bagi semua orang yang bekerja di bengkel tersebut.
Kekurangan dan cara mengatasinya
Namun, sistem ini tidak bisa digunakan begitu saja. Sistem pemanasan inframerah membutuhkan ketelitian yang tinggi. Jika penyelarasan lampu sedikit saja salah, maka akan ada bagian wafer yang tidak mendapatkan panas yang cukup. Untuk menghindari hal ini, pastikan bahwa bracket penyangga lampu berada dalam posisi yang stabil, tanpa adanya penyimpangan sedikit pun.
Selain itu, filamen lampu ini bisa menjadi sangat panas. Jangan gunakan kabel berkualitas rendah. Pastikan konektor-konektornya mampu menahan beban panas yang tinggi, agar terminal-terminalnya tidak rusak lebih cepat dari yang diharapkan.