Hentikan pemanasan dinding ruang vakum Anda Memanaskan wafer di dalam ruang vakum merupakan hal yang sulit. Jika Anda menggunakan pemanas berjenis...

Di area produksi, Anda tentu tahu prosedurnya. Perubahan suhu pada lapisan fotoresist sebesar 0,2°C saja sudah cukup untuk mengacaukan kontrol...