क्यों हम क्लीनरूम में उपयोग होने वाले हीटरों में “फोर्स्ड एयर” सिस्टम को छोड़कर इन्फ्रारेड सिस्टम का उपयोग कर रहे हैं?
यदि आपने सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रियाओं में काम किया है, तो आपको “ट्रॉली का इंतजार” करने की परेशानी का अनुभव होगा। यह तो एक बड़ी समस्या है।
पुरानी तकनीकों में गर्म हवा का उपयोग किया जाता है। समस्या यह है कि यह प्रक्रिया धीमी है। पहले हवा को गर्म करना होता है, फिर वह हवा ट्रॉली को गर्म करती है, और अंत में ट्रॉली ही वेफर को गर्म करती है। इस प्रक्रिया में बहुत समय लग जाता है। यह पूरी प्रक्रिया को धीमा कर देता है।
मध्यवर्ती चरणों को हटाना
इन्फ्रारेड ऊष्मा द्वारा ऊष्मा सीधे ही सामग्री तक पहुँचती है। ऐसे में कोई मध्यवर्ती चरण ही नहीं होता।
जब हम किसी फैक्ट्री में “फोर्स्ड एयर” सिस्टम को इन्फ्रारेड सिस्टम से बदल देते हैं, तो प्रक्रिया में लगने वाला समय मिनटों से कम होकर सेकंडों में ही हो जाता है। ऐसे में हर शिफ्ट में अधिक वेफरों को प्रसंस्कृत किया जा सकता है।
स्वच्छता एवं शांति
क्लीनरूम में भी इन्फ्रारेड सिस्टम बेहतर है। “फोर्स्ड एयर” सिस्टम में धूल उड़ने लगती है, जिससे निरंतर फिल्टरिंग एवं रखरखाव की आवश्यकता होती है। इन्फ्रारेड सिस्टम में ऐसी कोई समस्या ही नहीं है। इसके अलावा, इसमें उपकरण छोटे होते हैं, इसलिए जगह भी बच जाती है।
ऊष्मा की घनत्व
इन्फ्रारेड सिस्टम में ऊष्मा को ट्रॉली के विशिष्ट स्थानों पर ही भेजा जा सकता है। ऐसे में वेफर असमान रूप से गर्म नहीं होता, जिससे सटीकता बनी रहती है।
कमियाँ
लेकिन इन्फ्रारेड सिस्टम भी परफेक्ट नहीं है। इसके लिए सीधी राह की आवश्यकता है। यदि ट्रॉली का आकार अजीब है, तो ऊष्मा हर जगह नहीं पहुँच पाएगी। ऐसे में कुछ जगहें ठंडी ही रह जाएँगी।
इसीलिए हम ऐसे सिस्टमों को बस ऐसे ही उपयोग में नहीं ला सकते। हमें पहले ही यह तय करना होता है कि ऊष्मा स्रोत कहाँ रखे जाएँ। यदि ऊष्मा स्रोत वेफर के बहुत निकट हो, तो वेफर की सतह जल सकती है। इसके अलावा, PID कंट्रोलरों की आवश्यकता है, ताकि तापमान में तेजी से परिवर्तन होने पर तुरंत प्रतिक्रिया दी जा सके।