دیگر دیواره‌های محفظه خلأ را گرم نکنید! گرم کردن ویفرها درون محفظه خلأ، کاری بسیار پیچیده است. اگر از گرمکن‌های معمولی استفاده کنید، حرارت به همه جا...

در کارخانه‌های تولید، می‌دانید که شرایط بسیار حساس هستند. حتی تغییر دما در محدوده ۰.۲ درجه سانتی‌گراد نیز می‌تواند باعث اختلال در کنترل ابعاد مهم...