در کارخانههای تولید، میدانید که شرایط بسیار حساس هستند. حتی تغییر دما در محدوده ۰.۲ درجه سانتیگراد نیز میتواند باعث اختلال در کنترل ابعاد مهم واشرهای الکترونیکی شود. وقتی که گرمکنهای مادون قرمز موجود در محفظه خلأ عملکرد مناسبی نداشته باشند، نه تنها بازدهی تولید کاهش مییابد، بلکه برنامههای تولید نیز مختل شده واقع میشوند. ما گرمکنهای مادون قرمز مورد استفاده در محفظههای خلأ را طوری طراحی کردهایم که بتوانند شرایط حرارتی مورد نیاز فرآیندهای پردازش واشرهای الکترونیکی را برآورده کنند؛ همچنین این گرمکنها میتوانند به عنوان جایگزین مناسبی برای گرمکنهای موجود مورد استفاده قرار گیرند.
چه چیزهایی مهم هستند؟ ما از فرستندههای نور مادون قرمز با پاسخگویی سریع و کنترل طیفی دقیق استفاده میکنیم؛ به این ترتیب، یکنواختی حرارتی در سطح واشرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. تکرارپذیری فرآیند نیز در محدوده ±۰.۵ درجه سانتیگراد باقی میماند؛ این امر باعث میشود که الگوهای حرارتی ثابت بمانند. بدنه گرمکن نیز برای استفاده در اتاقهای پاکسازی کلاس ۱–۱۰۰ طراحی شده است؛ از موادی با میزان گاز خروجی کم و ساختاری که از ورود ذرات جلوگیری میکند، استفاده شده است تا آلودگیها به واشرها نرسد. توان الکتریکی نیز در شرایط خلأ پایدار باقی میماند و الگوهای حرارتی نیز حتی در شرایط کار ۲۴ ساعته نیز قابل پیشبینی هستند.
چرا این گرمکن برای فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش واشرهای الکترونیکی مناسب است؟ در فرآیندهای لیتوگرافی و پردازش واشرهای الکترونیکی، بودجه حرارتی مشخصی وجود دارد. این گرمکن، دمای مورد نظر را در طول فرآیندهای گرمکردن حفظ میکند؛ این امر باعث کاهش ناهمواری لبههای خطوط و بهبود یکنواختی CD میشود. کارایی این گرمکن ناشی از گرم کردن هدف، نه دیوارههای محفظه، است. قابلیت اطمینان این گرمکن نیز باعث میشود که توقفهای غیرمنتظره کمتر رخ دهد؛ این دستگاهها میتوانند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کنند، بدون اینکه بازدهی آنها کمتر از ۵٪ شود. برای مهندسان فرآیند، این امر به معنای کیفیت پیشبینیپذیرتر و کارهای تکراری کمتر است.
چه چیزهایی باید در هنگام نصب در نظر گرفته شود؟ باید فلنجها، پورتهای ورودی/خروجی و رابطهای توان محفظه را با گرمکن هماهنگ کرد. قبل از اتصال، باید هندسه محفظه و کلاس ولتاژ آن را بررسی کرد. این گرمکن زمانی بهترین عملکرد را دارد که دیوارههای محفظه تمیز و بازتابنده باشند؛ هرگونه پوشش یا رسوب میتواند تعادل حرارتی را مختل کند. پس از راهاندازی، نیاز به زمان کوتاهی برای تثبیت الگوهای حرارتی وجود دارد؛ پس از آن، فرآیند تولید تحت کنترل خواهد بود.