دیگر دیوارههای محفظه خلأ را گرم نکنید!
گرم کردن ویفرها درون محفظه خلأ، کاری بسیار پیچیده است. اگر از گرمکنهای معمولی استفاده کنید، حرارت به همه جا منتشر میشود؛ این کار باعث ایجاد مشکلات زیادی میگردد.
نتیجه؟ دیوارههای محفظه بسیار گرم میشوند. در واقع، تجهیزات گرانقیمت مورد استفاده برای تولید نیمههادیها، به یک «اسفنج بزرگ» برای ذخیره انرژی اضافی تبدیل میشوند. این کار نه تنها باعث هدررفت انرژی میشود، بلکه خطرات ایمنی نیز برای کسانی که در کنار دستگاه قرار دارند، ایجاد میکند. همچنین، با گذشت زمان، دیوارههای محفظه نیز میتوانند تغییر شکل دهند. این وضعیت اصلاً مناسب نیست.
چگونه این مشکل را حل میکنیم؟
ما از لامپهای مادون قرمز برای این منظور استفاده میکنیم. به جای اینکه حرارت به همه جا منتشر شود، از بازتابندههای خاص و پوششهای مناسب برای هدایت انرژی به محل مورد نظر استفاده میکنیم. به این ترتیب، حرارت از دیوارهها دور میماند. شما میتوانید ویفرها را به دمای مورد نظر برسانید، بدون اینکه سایر تجهیزات دستگاه دچار مشکل شوند.
مشکلات مربوط به خلأ
مشکل اصلی مربوط به لامپهای مادون قرمز معمولی این است که در محیط خلأ، به دلیل خروج گازها، از کار میافتند. در صنعت نیمههادیها، یک ذره کوچک نیز میتواند باعث از بین رفتن کل محموله تولید شده شود. این وضعیت واقعاً فاجعهبار است.
به همین دلیل، ما از کوارتز با خلوص بالا و سیستمهای مخصوص برای جلوگیری از نفوذ گازها استفاده میکنیم. این کار باعث میشود محفظه تمیز بماند.
معایب و راهحلها
البته، یک مشکل وجود دارد: وقتی که پرتو نور را در یک نقطه مشخص متمرکز میکنیم، حرارت زیادی در آن نقطه تولید میشود. این کار باعث میشود فشار زیادی بر روی ماده مورد نظر وارد شود. بنابراین، باید مراقب کنید که دمای تجهیزات از حد مورد نظر بالاتر نرود. همچنین، باید از سیستمهای خنککننگ مناسب استفاده کنید؛ در غیر این صورت، فیلامنت لامپ خیلی زود خراب خواهد شد.
خبر خوب این است که ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای موجود شوند. آنها به راحتی میتوانند در سیستمهای خلأ موجود قرار بگیرند؛ بنابراین نیازی نیست تجهیزات خود را دوباره طراحی کنید تا عملکرد بهتری داشته باشد.