V provozu výroby není teplota jen dalším parametrem, na který se jen letmo podíváte. Je to součást samotného procesu. I malá změna teploty o jeden stupeň může narušit profil fotorezistu. Příliš vysoká teplota zase může způsobit odchylky v tloušťce vrstev. Stačí jedna taková změna teploty a kvalita výrobku začne klesat.
Co je opravdu důležité Vyrábíme průmyslové ohřívače určené k práci s polovodiči, s přesnou regulací teploty: rovnoměrnost teploty v horké oblasti ±0,1 °C, opakovatelnost nastavené teploty v rozmezí 0,2 °C a stabilní výkon od pokojové teploty až po 650 °C. Halogenní a kvartové prvky umožňují rychlé a plynulé zvyšování teploty. Verze s uhlíkovými vlákny se hodí pro zařízení s nižší hmotností, která potřebují rychlou reakci. Výkon ohřívačů je přizpůsoben konkrétnímu zařízení – na jedné straně 24 V pro řídicí obvody, na druhé straně 480 V pro třífázová zařízení. Kabely jsou vhodné pro prostředí s úrovní čistoty 1–100. Snižujeme počet částic tím, že uzavíráme spoje mezi jednotlivými částmi zařízení a používáme materiály vysoké čistoty. Cílem je eliminace vzniku částic, zejména během procesů litografie.
Proč se to hodí do procesu zpracování čipů Tyto ohřívače jsou navrženy právě pro tyto účely: procesy změkčování a zpevňování fotorezistu, čištění a sušení čipů, stejně jako tepelné procesy během balení. Přesná rovnoměrnost teploty chrání vaše zařízení před nadměrným zatížením, snižuje odchylky v tloušťce vrstev a zlepšuje kontrolu nad procesem. Rychlá stabilizace teploty zkracuje dobu provozu. Úsporné provozní parametry snižují náklady na provoz. Dvacetidenní spolehlivost je zajištěna díky redundantním senzorům, odolné konstrukci a opatrnému určování výkonu. To znamená méně neplánovaných přestávek a možnost efektivně plánovat údržbu.
Poznámky, které vám později přijdou vhod Instalace je specifická pro každé zařízení. Musíte zajistit shodu dimenzí montáže, průtoku vzduchu a rozhraní řízení s daným zařízením. Při úpravách může být potřeba menší mechanická úprava. Používejte kabely vhodné pro prostředí s vysokou čistotou a udržujte pevné zapojení, abyste zabránili vzniku elektrostatického náboje. V prostředích s vysokou vlhkostí ověřte odpor izolace při spouštění zařízení, abyste se vyhnuli dočasným odchylkám teploty. Výsledkem je spolehlivá kontrola teploty, která zůstává v požadovaném rozmezí den za dnem.