V provozu výroby není teplota jen dalším parametrem, na který se jen letmo podíváte. Je to součást samotného procesu. I malá změna teploty o jeden...

Na výrobní lince znáte postup: odchylka 0,1 °C během sušení waferu nebo pečení fotoresistu může nenápadně snížit výtěžnost linky. Ohřívač není jen...