Na výrobní lince znáte postup: odchylka 0,1 °C během sušení waferu nebo pečení fotoresistu může nenápadně snížit výtěžnost linky. Ohřívač není jen...

Termální rozpočet je jediná věc, o které se na výrobní lince nevyjednává. Kolísání uniformity teploty během RTP posune hloubku přechodu a pokud je...