为何我们选择使用碳纳米管进行红外固化处理
半导体行业终于开始摒弃那些传统的溶剂干燥方法，以及那些含有大量铅的工艺流程了。是时候这么做了。为了符合这些“绿色”标准，我们开始使用碳纳米管作为加热元件。与传统的电阻式加热元件不同，碳纳米管能将电能转化为热能，而且几乎不会产生任何浪费。它的效果非常好。
关键在于热量分布
碳纳米管加热技术的优势在于它能形成均匀的热场。我们之所以用它来进行红外固化处理，是因为热量不会只停留在表面，而是会渗透到基材内部。如果你曾经遇到过材料表层过快干燥的情况，那你就知道那有多糟糕了——因为那样会导致溶剂被困在表层之下，从而破坏整个产品的质量。而使用红外固化技术的话，就不会出现这种情况，因为整个晶圆上的固化效果都是一样的。
对环境有益，还能节省成本
大多数传统的加热器都需要依赖重金属或有害涂层才能达到高温。而碳纳米管则完全由纯碳构成，因此在使用时不会产生任何有毒物质。此外，它的加热速度极快，只需几秒钟就能达到目标温度，而不需要几分钟。因为速度如此之快，所以那些耗能巨大的预热装置就不再需要了。这样一来，你的电费也会相应减少。
安装前的注意事项
不过，你不能直接把碳纳米管加热器装进旧烤箱里就可以使用。因为它们的加热速度实在太快了，所以温度控制装置必须足够灵敏。如果采样速度太慢或PID调节不当，就有可能导致温度超过设定值，进而烧毁基材。不过，好在这类加热器体积小、重量轻。只要电源能够提供合适的电压，它们就可以取代那些笨重的卤素加热装置。说实话，这是实现无铅生产标准的同时又不影响生产速度的最佳方式。