Yarı mamul üretiminde karbon salınımını azaltmak: Ozon sorunu
Eğer bir yarı iletken fabrikasında çalıştıysanız, termal profil konusunda ne kadar dikkatli olmamız gerektiğini biliyorsunuzdur. Ancak standart kısa dalga boylu IR lambalarla ilgili bir sorun daha var: Bu lambalar 200nm’nin altındaki dalga boylarını da yayma eğilimindedir ve işte sorun burada başlıyor.
Bu ışık, havada ozon üretimine neden olur. Elbette bu bir rahatsızlık kaynağıdır; ancak asıl sorun enerji maliyetidir. Havalandırma sistemlerinin sürekli çalışması gerekiyor; hava temizlenmeli ve havalandırma sistemi sürekli çalıştırılarak güvenli bir ortam sağlanmalıdır. Bu da büyük bir enerji israfı demektir.
Çözüm nedir? Ozon üretimini baştan engellemek.
Bunu, koruyucu görevi gören özel kuvars kaplamalar veya iç kaplamalar kullanarak yaparız. Bunlar 185nm dalga boyunu engeller; bu da oksijen moleküllerinin bölünmesine neden olan dalga boyudur. Böylece gerekli ısı yoğunluğu elde edilir, ancak kimyasal atıklar oluşmaz. Böylece havalandırma sistemleri boşuna çalışmak zorunda kalmaz ve enerji tüketimi düşer.
Şimdi performans konusuna gelelim.
Bu lambalar çok hızlı ısınır. Tam da waferleri pişirirken veya kuruturken ihtiyaç duyduğunuz şey budur. Enerji kızılötesi bölgede yoğunlaştığı için ısı doğrudan substrata ulaşır.
Ancak bir uyarı: Güç yoğunluğuna dikkat edin. Yüksek güçlü, ozonsuz lambalar oldukça etkilidir. Eğer üniteiniz bu kadar yüksek ısıyı kaldıracak yapıda değilse, filamentler çok hızlı yanar. Bu tür lambaları hassas PID kontrol cihazlarıyla birlikte kullanmanızı şiddetle tavsiye ederim. Böylece hedef sıcaklığın üzerine çıkmaktan kaçınırsınız ve donanımınız zarar görmez.
En iyi yanı ise bu yöntemin yeşil metrikler üzerindeki olumlu etkisidir. Hem doğrudan ısıtma, eski tip konveksiyon fırınlarından çok daha verimlidir; hem de odanın ozonla dolması engellendiğinden, aşırı havalandırma ihtiyacı ortadan kalkar. Bu, geleneksel yöntemlerin getirdiği zorluklar olmadan karbonsuzluğa ulaşmanın pratik bir yoludur.