Üretim alanında, foto dirençlerin ısıtılması sırasında oluşan termal değişimler veya temizleme işlemlerinden sonra kalan nem, sadece üretim hızını düşürmekle kalmaz; aynı zamanda ürünlerin kalitesini de olumsuz etkiler. Biz de bu tür yarı iletken kızılötesi ısıtma lambalarını, termal kontrolün gerektiği yerde sağlanabilmesi için geliştirdik: yani her bir işlem döngüsünde belirlenen standartlarda.
Önemli olanlar Hızlı tepki veren kuvars elemanları kullanarak kısa dalga boylu kızılötesi ışınlar üretiyoruz. Böylece saniyeler içinde hızlı ve yönlendirilebilir bir ısıtma gerçekleşiyor. Wafer seviyesindeki sıcaklık tutarlılığı ±0,1°C civarında oluyor ve farklı partiler arasında da tutarlılık korunuyor. Bu tasarım, Class 1’den Class 100’e kadar olan temiz oda koşullarına uygun; ayrıca parçacık üretimi yok ve gaz salınımı da düşük seviyededir. Çıkış gücü 5.000 saatten fazla süre boyunca stabil kalıyor ve yoğunlukta %5’ten az bir değişim oluyor. Kapalı döngü kontrolü sayesinde termal kontrol sağlanıyor ve kompakt yapısı sayesinde yeni ekipmanlara kolayca entegre edilebiliyor.
Neden gerçek ortamlarda etkili? Wafer kurutma işleminde, odaklanmış ısı yüzey gerilimini hızla azaltarak kalıntıların oluşmasını engeller ve böylece yüksek üretim hızları sağlanır. Litografide ise lamba, tutarlı bir ısı profili sağlayarak CD kontrolünün ve profil bütünlüğünün bozulmasını önler. Paketleme işlemlerinde ise kaplamaların hızlı bir şekilde kurumasını sağlar; böylece fırın kullanım süresi kısalarak enerji tüketimi azalır. Temizleme ve kurutma işlemlerinde ise herhangi bir iz veya kalıntı kalmaz. Sonuç olarak daha az hata, stabil SPC değerleri ve planlanabilir bir üretim süresi elde edilir.
Dikkat edilmesi gerekenler Bu lambaların doğru şekilde çalışabilmesi için temiz bir elektrik gücü ve hassas sıcaklık ölçümü gereklidir. Işın spektrumunu ve güç yoğunluğunu malzeme yapınıza ve ekipman geometrinize göre ayarlayın. Ayar noktasına ulaşmak için kısa bir ısınma süresi gerekecektir; bu yüzden entegrasyon işlemlerini ışın yolunun boşluğu ve termal izolasyon açısından planlayın. Doğru hizalama ve kalibrasyon yapıldığında, minimum bakım gerektiren ve tekrarlanabilir sonuçlar elde edilir.