Üretim alanında, fotoğraf direncinin ısıtılması sırasında meydana gelen 0,1°C’lik bir sıcaklık değişimi, çipin kenar genişliklerini değiştirebilir ve kaliteli yongaların atık haline gelmesine neden olabilir. Bu tür sorunları ortadan kaldırmak için “chip-on-wafer” tipi kızılötesi lambalar geliştirilmiştir. Bu lambalar, sıcaklık kontrolünün yapılması amacıyla tasarlanmıştır; burada sıcaklık kontrolü çok hassas olmalı ve tekrarlanabilirlik tek kabul edilebilir ölçüt olmalıdır.
Teknik açıdan önemli olanlar:
Yakın kızılötesi (NIR) kuvars-halojen yayıcılar kullanılır; bu yayıcıların enerjisi doğrudan fotoğraf direncine ve ince filmlere aktarılır. Sistem, 150–300 mm boyutundaki yongalarda sıcaklık farklarını ±0,1°C civarında tutar ve hedef sıcaklığa 2 saniyenin altında ulaşır. Yumuşak ısıtma ve sert ısıtma işlemleri arasındaki sıcaklık tekrarlanabilirliği ise ±0,5°C civarındadır; böylece kritik ölçüler sabit kalır.
Lamba başlığı, Class 1–100 standartlarına uygun şekilde tasarlanmıştır; düşük gaz salınımı yapan malzemelerden yapılmıştır ve parçacık kontrolü sağlanmıştır. Standart ısıtma işlemleri sırasında hiçbir parçacık üretilmediği doğrulanmıştır.
Üretimde neden işe yarar?
Litografi süreçlerinde ısıtma prosedürü sürekli olarak sabit kalır; böylece yeniden işleme ihtiyacı ortadan kalkar ve verimlilik korunur. NIR teknolojisi sayesinde enerji tüketimi azalır; çünkü ısıtma işlemi filmleri ısıtır, taşıyıcıyı değil. Güvenilirlik açısından ise bu sistem 24/7 çalışabilmek üzere tasarlanmıştır; MTBF değeri on binlerce saat civarındadır ve bakım işlemleri planlanan duruş süreleriyle uyumludur.
Planlamanız gerekenler:
Bu lamba standart SEMI arayüzleriyle çalışır; ancak entegrasyon için chuck malzemesi ve yansıtıcıların geometrisinin ısıtma plakasıyla uyumlu olması gerekir. Emissiviteyi ayarlamak ve tam olarak istenen özellikleri elde etmek için kısa bir kalibrasyon işlemi yapılmalıdır.
Bir diğer kısıtlama ise termal etkileşimlerdir. Aynı ekipmanda farklı filmler kullanıldığında, bitişik bölgeler için ayarlarda koruma bantlarına ihtiyaç vardır.