Waarom we geforceerde lucht vervangen door infraroodverwarming in heaters voor zuiverruimtes
Als je ooit bent geweest in de diepe verwerking van halfgeleiders, ken je vast de frustratie van het ‘wachten op de kar’. Het is een klassiek knelpunt.
De meeste ouderwetse systemen maken gebruik van circulerende hete lucht. Het probleem? Het is langzaam. Eerst moet de lucht worden opgewarmd, daarna verwarmt de lucht de kar, en uiteindelijk verwarmt de kar de waferdrager. Dat betekent veel wachten tot de warmte echt op de juiste plek komt. Dat vertraagt het hele proces.
Het tussenliggende onderdeel weglaten
Infraroodverwarming verandert dit. In plaats van met lucht te werken, sturen IR-emitters energie rechtstreeks naar het materiaal. Het is een directe aanpak.
Wanneer we een fabriek omzetten van geforceerde lucht naar infraroodverwarming, zien we dat de opstarttijd verschuift van minuten naar seconden. In een fabriek met hoge productievolume’s tellen die bespaarde seconden snel op. Plotseling kun je meer wafers per shift verwerken.
Het schoonhouden (en stilhouden)
Dan is er nog het aspect van de zuiverruimte. Geforceerde lucht is eigenlijk een soort gigantische stofzuiger. Het blaast alles door elkaar, waardoor er veel filtering nodig is en constante onderhoudswerkzaamheden.
Infraroodverwarming is anders. Het is stil. Er beweegt zich niets. Geen ventilatoren die kapot kunnen gaan, geen filters die verstopt raken. Bovendien zijn de componenten kleiner, zodat je wat meer vloerruimte terugkrijgt.
Nog een voordeel: de warmtedichtheid. Je kunt de warmte precies op specifieke delen van de kar richten. Hierdoor wordt voorkomen dat de drager onevenredig uitzet, wat een groot voordeel is voor iedereen die zich zorgen maakt over precisie.
Het nadeel
Infraroodverwarming is niet magisch. Er moet een heldere zichtlijn zijn. Als de kar een vreemde vorm heeft of diepe holtes, bereikt de straling niet alle hoeken. Dan ontstaan er koude plekken.
Daarom kunnen we deze systemen niet zomaar ‘plug and play’ gebruiken. We moeten eerst goed plannen waar de emitters moeten komen te staan. Als de lamp te dicht bij de drager staat, kan de oppervlakte beschadigen. Ook zijn PID-regelaars nodig die onmiddellijk kunnen reageren, want wanneer de temperatuur plotseling stijgt, gebeurt dat snel.