Hentikan amalan memanaskan dinding ruang vakum tersebut
Memanaskan wafer di dalam ruang vakum merupakan proses yang sukar. Jika anda menggunakan pemanas jenis radiasi biasa, haba akan tersebar ke merata-rata tempat. Ini menyebabkan kekacauan. Akibatnya, dinding ruang vakum menjadi panas. Alat semikonduktor yang mahal ini sebenarnya berfungsi sebagai “span” yang menyerap tenaga yang tidak diperlukan. Ini bukan sahaja membazir tenaga elektrik, tetapi juga menimbulkan risiko keselamatan bagi orang yang berada berdekatan dengan mesin tersebut. Selain itu, dinding ruang vakum juga boleh rosak akibat haba yang berlebihan. Ini tentu saja bukan situasi yang ideal.
Cara kita mengatasi masalah kebocoran haba
Kita mengatasi masalah ini dengan menggunakan sinar inframerah yang dikawal secara tepat. Daripada membiarkan cahaya panas tersebar ke semua arah, kita menggunakan reflektor khusus dan lapisan pelindung yang sesuai untuk mengarahkan haba ke tempat yang sepatutnya, iaitu permukaan wafer. Dengan cara ini, haba tidak akan sampai ke dinding ruang vakum. Wafer dapat mencapai suhu yang diinginkan tanpa perlu memanaskan komponen lain dalam mesin tersebut.
Masalah berkaitan vakum
Lampu inframerah biasa biasanya gagal berfungsi di dalam ruang vakum kerana adanya gas yang terlepas dari lampu tersebut. Dalam dunia semikonduktor, satu zarah kecil pun boleh merosakkan keseluruhan produk yang dihasilkan. Ini merupakan bencana yang tidak boleh diterima. Itulah sebabnya kita menggunakan kuarsa berkualiti tinggi serta seal khas untuk memastikan ruang vakum tetap bersih.
Kompromi yang perlu dipertimbangkan (dan cara mengatasinya)
Terdapat satu kelemahan: apabila sinar inframerah difokuskan ke satu titik tertentu, haba yang dihasilkan akan sangat tinggi. Walaupun ini dapat melindungi dinding ruang vakum, ia akan memberi tekanan yang besar pada bahan yang dipanaskan. Anda perlu berhati-hati semasa mengawal suhu menggunakan alat PID agar suhu tidak melebihi had yang ditetapkan. Selain itu, pastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika sistem penyejukan tidak mampu menangani haba yang berlebihan, filamen lampu akan cepat rosak.
Berita baiknya? Kami telah merancang lampu-lampu ini agar boleh digunakan sebagai pengganti lampu lama. Ia sesuai digunakan dalam sistem vakum sedia ada, jadi anda tidak perlu merancang semula peralatan anda untuk mendapatkan prestasi termal yang lebih baik.