Di lantai pengeluaran, prosedurnya sudah diketahui dengan jelas. Perubahan suhu sebanyak 0.2°C sahaja sudah cukup untuk mengganggu kawalan dimensi yang diperlukan dalam proses pengeluaran cip. Apabila pemanas inframerah dalam ruang vakum berfungsi dengan tidak efektif, bukan sahaja hasil pengeluaran akan terjejas, tetapi jadual pengeluaran juga akan terganggu. Kami telah membangunkan pemanas inframerah ini agar mampu memenuhi keperluan suhu yang diperlukan dalam proses pengeluaran cip moden, serta memenuhi spesifikasi peralatan semikonduktor. Pemanas ini juga sangat sesuai digunakan dalam persekitaran bilik bersih kelas 1–100, kerana ia menggunakan bahan yang kurang menghasilkan gas berbahaya dan reka bentuknya dapat mengelakkan kotoran daripada menempel pada cip. Kuasa yang dihasilkan oleh pemanas ini tetap stabil walaupun dalam keadaan vakum, dan profil suhu yang dihasilkan juga tetap konsisten walaupun beroperasi 24/7.
Apa yang penting dalam operasi pemanas ini
Kami menggunakan pemancar gelombang pendek NIR yang memberikan respons yang cepat dan kawalan spektrum yang tepat. Dengan cara ini, keseragaman suhu pada permukaan cip dapat dipertahankan pada tahap ±0.1°C. Kepastian prestasi pemanas ini dapat dicapai pada tahap ±0.5°C, sehingga proses pemanasan dapat berjalan secara konsisten. Badan pemanas ini direka khusus untuk digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dengan menggunakan bahan yang tidak menghasilkan gas berbahaya dan reka bentuk yang dapat mengelakkan kotoran daripada menempel pada cip. Kuasa yang dihasilkan oleh pemanas ini tetap stabil walaupun dalam keadaan vakum, dan profil suhu yang dihasilkan juga tetap konsisten walaupun beroperasi 24/7.
Mengapa pemanas ini sesuai untuk proses litografi dan penggunaan bahan photoresist
Dalam proses litografi dan penggunaan bahan photoresist, parameter suhu merupakan faktor yang sangat penting. Pemanas ini mampu mengekalkan suhu yang ditetapkan tanpa berlaku perubahan yang drastik, sekali gus mengurangkan ketidakteraturan pada garis-garis permukaan cip dan meningkatkan keseragaman dimensi cip tersebut. Kecekapan pemanas ini datang daripada kemampuannya untuk memanaskan permukaan cip secara langsung, bukan dinding ruang vakum. Kebolehpercayaan pemanas ini juga tinggi, kerana ia jarang mengalami masalah teknikal, sehingga peralatan ini boleh beroperasi selama 5,000 jam atau lebih dengan penurunan prestasi kurang dari 5%. Bagi para jurutera proses, ini bermakna proses pengeluaran menjadi lebih dapat diramalkan dan memerlukan pembetulan yang lebih sedikit.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Anda perlu memastikan bahawa flanges, saluran bekalan kuasa, dan antaramuka kuasa pemanas ini sesuai antara satu sama lain. Semak geometri ruang vakum serta jenis voltan yang digunakan sebelum proses pemasangan. Pemanas ini akan berfungsi dengan lebih baik apabila dinding ruang vakum bersih dan reflektif; sebarang lapisan atau sisa kotoran boleh mengganggu keseimbangan suhu. Anda perlu menunggu sedikit masa selepas pemanas dihidupkan agar emisiviti dan sistem kawalan suhu dapat stabil. Setelah itu, proses pengeluaran akan berjalan dengan lancar.