Di bilik pengeluaran, perubahan suhu semasa proses pemanasan bahan fotoresist, atau kelembapan yang tinggal selepas proses pembersihan, bukan sekadar mengganggu kelajuan pengeluaran sahaja. Ia juga akan mempengaruhi dimensi komponen elektronik tersebut dan merosakkan kualiti produk yang dihasilkan. Kami mencipta Lampu pemanas inframerah ini untuk memastikan kawalan suhu yang tepat, agar ia tetap berada dalam julat yang ditetapkan, dari satu kitaran ke kitaran yang lain.
Apa yang penting dalam reka bentuknya
Lampu ini menggunakan pemancar inframerah gelombang pendek dengan elemen kuarsa yang memberikan tindak balas yang cepat. Ini membolehkan pemanasan yang cepat dan tepat, serta pemulihan suhu dalam masa beberapa saat sahaja. Kestabilan suhu pada tahap wafer adalah sekitar ±0.1°C, dan kebolehubahan suhu antara pelbagai kumpulan wafer juga sangat rendah. Reka bentuknya sesuai digunakan dalam bilik bersih dari Kelas 1 hingga Kelas 100, tanpa penghasilan zarah-zarah berbahaya dan dengan pelepasan gas yang minimum. Keluaran tenaga lampu ini tetap stabil selama lebih dari 5,000 jam, dengan variasi intensiti kurang dari 5%. Kontrol berbentuk lingkaran tertutup memastikan kawalan suhu yang tepat, dan saiz lampu yang kompak memudahkan pemasangan pada alat-alat baru.
Mengapa ia berkesan dalam penggunaan sebenar
Dalam proses pengeringan wafer, haba yang dihasilkan dapat memecahkan tegangan permukaan dengan cepat, sehingga mengurangkan masa yang diperlukan untuk proses pengeringan. Dalam proses litografi, lampu ini memberikan profil suhu yang konsisten, sehingga memastikan kualiti produk yang dihasilkan tetap baik. Dalam proses pembungkusan, lampu ini mempercepatkan proses pengerasan bahan penutup wafer, sekali gus mengurangkan masa yang diperlukan untuk proses tersebut dan penggunaan tenaga. Dalam proses pembersihan dan pengeringan, lampu ini memastikan permukaan wafer benar-benar bersih, tanpa kesan sisa atau kotoran. Hasilnya, proses pengeluaran menjadi lebih efisien, dengan hasil yang konsisten dan masa operasi yang dapat diramalkan.
Apa yang perlu diambil kira
Lampu ini memerlukan bekalan tenaga yang stabil dan sistem pengesan suhu yang tepat agar dapat berfungsi dengan baik. Pastikan spektrum cahaya dan kepadatan tenaga yang digunakan sesuai dengan jenis bahan dan geometri alat yang digunakan. Proses pemanasan lampu ini memerlukan masa yang singkat untuk mencapai suhu yang diinginkan. Pastikan penyesuaian posisi dan kalibrasi dilakukan dengan betul, agar hasil yang diperoleh konsisten dan memerlukan penyelenggaraan yang minimum.