Hentikan pemanasan dinding ruang vakum Anda
Memanaskan wafer di dalam ruang vakum merupakan hal yang sulit. Jika Anda menggunakan pemanas berjenis radiasi standar, panasnya akan menyebar ke segala arah. Hal ini tentu saja merepotkan. Akibatnya, dinding ruang vakum menjadi sangat panas. Alat semikonduktor yang mahal tersebut pun berfungsi sebagai “ponsel” untuk menyerap energi yang tidak dibutuhkan. Ini bukan hanya pemborosan listrik saja, tetapi juga membahayakan keselamatan orang-orang yang berada di dekat mesin tersebut. Selain itu, dinding ruang vakum juga bisa rusak seiring waktu. Ini tentu bukan hal yang ideal.
Cara kami mengatasi masalah kebocoran panas
Kami mengatasi masalah ini dengan menggunakan sinar inframerah yang terarah. Alih-alih membiarkan panas menyebar ke segala arah, kami menggunakan reflektor khusus dan lapisan pelindung yang tahan vakum agar panas tersebut hanya sampai ke tempat yang memang dibutuhkan, yaitu permukaan wafer. Dengan cara ini, panas tidak akan mengenai dinding ruang vakum. Wafer pun dapat mencapai suhu yang diinginkan tanpa membuat bagian perangkat lain menjadi sumber panas yang berlebihan.
Masalah vakum
Masalahnya adalah lampu inframerah standar biasanya tidak akan berfungsi dengan baik di lingkungan vakum karena adanya pelepasan gas dari lampu tersebut. Di dunia semikonduktor, satu partikel kecil saja sudah cukup untuk merusak seluruh produk yang diproses. Itu merupakan bencana yang tidak boleh terjadi. Itulah sebabnya kami menggunakan kuarsa berkualitas tinggi serta perangkat pengunci khusus agar ruang vakum tetap bersih.
Kompromi yang harus diterima (dan cara mengatasinya)
Ada satu kelemahan: ketika sinar inframerah difokuskan ke satu titik tertentu, maka banyak sekali panas yang terkumpul di sana. Meskipun hal ini dapat melindungi dinding ruang vakum, hal ini justru memberikan tekanan yang besar pada bahan yang diproses. Anda perlu berhati-hati saat menggunakan kontroler PID agar suhu tidak melebihi batas yang ditentukan. Pastikan pula bahwa sistem pendinginan berfungsi dengan baik. Jika sistem pendinginan tidak mampu menangani panas yang tinggi tersebut, filamen lampu akan cepat rusak.
Berita baiknya adalah, kami telah merancang lampu-lampu ini sedemikian rupa sehingga dapat digunakan sebagai pengganti lampu lama. Lampu-lampu ini cocok digunakan dalam sistem vakum yang sudah ada, sehingga Anda tidak perlu merancang ulang perangkat keras Anda untuk mendapatkan performa termal yang lebih baik.